據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，芯片制造設備概念股有：

至純科技：10月10日，至純科技(603690)開盤報30.78元，截至14時45分，該股漲5.34%，報33.410元，3日內(nèi)股價上漲8.56%，總市值為128.18億元。

近7個交易日，至純科技上漲8.92%，最高價為29.21元，總市值上漲了11.43億元，2025年來上漲24.84%。

從至純科技近三年凈利率來看，近三年凈利率均值為6.01%，過去三年凈利率最低為2024年的-1.56%，最高為2023年的10.41%。

萬業(yè)企業(yè)：截止10月10日14時萬業(yè)企業(yè)（600641）漲0.71%，報21.360元/股，3日內(nèi)股價下跌3%，換手率7.2%，成交額14.07億元。

在近7個交易日中，萬業(yè)企業(yè)有5天上漲，期間整體上漲12.36%，最高價為23.01元，最低價為17.45元。和7個交易日前相比，萬業(yè)企業(yè)的市值上漲了24.57億元。

從萬業(yè)企業(yè)近三年ROTA來看，近三年ROTA均值為1.62%，過去三年ROTA最低為2024年的-0.06%，最高為2022年的4.09%。

長川科技：截至10月10日14時53分，長川科技報94.750元，跌0.66%，換手率13.3%，成交量6459.76萬手，市值為597.37億元。

長川科技近7個交易日，期間整體下跌1.66%，最高價為86.22元，最低價為107.66元，總成交量6.97億手。2025年來上漲53.42%。

從長川科技近三年ROTA來看，近三年ROTA均值為6.75%，過去三年ROTA最低為2023年的1.15%，最高為2022年的11.99%。

芯源微：10月10日盤后最新消息，收盤報：148.520元，成交金額：10.36億元，主力資金凈流入：-7871.45萬元，占比-7.60%。換手率3.44%。

近7日芯源微股價上漲2.06%，2025年股價上漲43.69%，最高價為158.88元，市值為299.46億元。

從近五年ROE來看，芯源微近五年ROE均值為9.64%，過去五年ROE最低為2020年的6.31%，最高為2022年的13.36%。

精測電子：10月10日收盤消息，精測電子最新報79.210元，跌3.1%。成交量701.33萬手，總市值為221.59億元。

近7個交易日，精測電子下跌2.68%，最高價為75.44元，總市值下跌了5.93億元，2025年來上漲18.82%。

從精測電子近三年扣非凈利潤來看，近三年扣非凈利潤均值為-155.31萬元，過去三年扣非凈利潤最低為2024年的-1.59億元，最高為2022年的1.21億元。

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